製品詳細｜大倉電気株式会社

ドーピング、エピタキシャルなどの半導体工業用、各種化学分析用、特殊ガス、高純度ガス、腐食性ガス用等にご使用いただける金属ダイヤフラム減圧弁です。

■クリーンな部材
ダイヤフラムは本体と金属接合シールされ、全品Heリークチェック、禁油禁水、洗浄処理品です。

■高い汎用性
高圧用、低圧用で、全8種類があり、パネルマウント、ボトムマウントがそれぞれ可能です。

項目	高圧用 RD210A1□1□	低圧用 RD210A4□2□
耐圧	Max 24.5MPa	Max 2.94MPa
使用一次圧	Max 14.7MPa	Max 2MPa
設定圧力レンジ	171.6kPa 343kPa 686kPa 1372kPa 2059kPa	171.6kPa 343kPa 686kPa
有効オリフィス	φ0.7	φ2
CV値	0.015	0.1
一次圧特性※1	0.5% ※1　一次圧特性　（設定圧変動幅／一次圧変動幅）×100の値（10l/min時）	1.3% ※1　一次圧特性　（設定圧変動幅／一次圧変動幅）×100の値（10l/min時）
再現性	±0.98kPa
ヒステリシス	±3.92kPa
外部リーク	1.013×10-10Pa･m3/s（He）以下
内部リーク	1.013×10-8Pa･m3/s（He）以下
接流体部材質	SUS316，SUS316L，PCTFE
使用温度範囲	-10～80℃
ポート	60°IN×2　OUT×2	90°IN×1　OUT×2
接続口 (　接続　VCR)	1/4NPT Rc1/4 VCR1/4GR ※2 ※2 VCRはSwagelok Companyの登録商標です。
質量	920g
パネルカット	φ33